Διασφάλιση της παραγωγής ημιαγωγών με συσκευές παρακολούθησης θερμοκρασίας και υγρασίας ακριβείας
1. Εισαγωγή Η βιομηχανία ημιαγωγών λειτουργεί κάτω από μερικές από τις πιο αυστηρές περιβαλλοντικές συνθήκες από οποιονδήποτε τομέα παραγωγής. Καθώς οι συσκευές συρρικνώνονται στη νανοκλίμακα και